GB 50467-2008 微电子生产设备安装工程施工及验收规范
上QQ阅读APP看本书,新人免费读10天
设备和账号都新为新人

3.5 壁板开洞

3.5.1 设备安装穿越壁板时,应在壁板的适当位置开洞,开洞作业不得划伤或污染需保留的壁板表面。

壁板开洞是供设备跨壁板安装用。壁板被划伤不仅会降低观感质量,更严重的是会导致生锈、产尘,因此规定不得划伤壁板表面。不得污染板面是指经切割加工的板面不应留有粉尘、油腻等污染物。虽然在加工过程中难免不受到污染,但必须在搬入洁净室(区)前清除干净,对油污可用长纤维擦布沾中性溶剂清除。

3.5.2 设备穿越壁板安装结束后,应采用铝合金型材和微孔泡沫带密封壁板洞口的缝隙,其材质应与该厂房內装修所用材质一致,且应满足下列要求:

1 密封后,设备与密封组件之间应柔性接触。

2 密封组件与壁板的连接应紧密、牢固。

3 密封面应平整、美观。

4 微孔泡沫密封带的厚度不应小于5mm,且应紧贴设备,不应有缺损和漏风现象。

壁板两侧房间的洁净度级别不同,气压也不同,为了保证压差和不破坏房间的洁净度,就必须在设备跨壁板安装后对壁板密封。

3.5.3 壁板开洞前的准备,应符合下列规定:

1 应测量设备周边尺寸及装修洞口的铝型材断面相关尺寸,并应增加防止铝型材直接接触设备而需放大的量,同时应计算出壁板开洞尺寸。

2 应选择合适的铝型材,必要时应作断面组装试验。

3 应在需开洞的壁板上划切割线,经复核无误后应在紧靠切割线的外侧粘贴适当宽度的彩色胶带。

对壁板开洞前的准备工作作出规定,是防止开洞位置、尺寸发生错误而造成壁板报废,也是为了便于设备安装及壁板密封。

3.5.4 需切割的壁板应取下,并应搬至临时加工场所进行切割。切割后可使用中央真空清扫系统或无尘室专用吸尘器吸去切屑,并应用擦布擦去灰尘。对板芯易散发尘埃的壁板应先用洁净铝箔单面胶带密封切口,并应在达到清洁要求后搬入洁净室(区)。

壁板的切割加工会产生切屑和粉尘。为避免对洁净室(区)和设备造成污染,所以不得在洁净室(区)进行切割作业,应在专设场所进行切割加工,并经洁净处理后才能搬回洁净室(区)组装复原。

3.5.5 设备应按本规范第3.9节的要求安装,并应将切割加工好的壁板组装复位。

3.5.6 施工人员应用事先选定的密封材料进行密封、固定,密封作业质量应符合本规范第3.5.2条的要求。